非晶質シリコン系半導体のキャリア輸送と局在準位に関する研究
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目次
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第1章 緒論
p1
第2章 高光感度a-SiC:H薄膜の成膜とプラズマ状態
p6
2-1 緒言
p6
2-2 成膜装置と膜評価法
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒショウシツ シリコンケイ ハンドウタイ ノ キャリア ユソウ ト キョクザイ ジュンイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 秋田成司 [著]
- 著者標目
- 秋田, 成司 アキタ, セイジ
- 授与機関名
- 大阪府立大学
- 授与年月日
- 平成5年3月29日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 乙第729号
- 学位
- 博士 (工学)