対向ターゲット式スパッタ法による垂直磁気フレキシブル媒体の作製技術と記録特性に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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第1章 緒論
p1
第2章 スパッタプラズマ特性と薄膜微細構造の関係
p7
2.1 スパッタ法による薄膜形成技術
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- タイコウ ターゲットシキ スパッタホウ ニ ヨル スイチョク ジキ フレキシブル バイタイ ノ サクセイ ギジュツ ト キロク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 門倉貞夫 [著]
- 著者標目
- 門倉, 貞夫 カドクラ, サダオ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成4年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1992
- 報告番号
- 乙第2390号
- 学位
- 博士 (工学)