書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
目次
第1章 序論
p1
1-1 本研究の歴史的背景(応力に関する従来の研究)
p1
1-2 本研究の目的と概要
p4
第2章 各種成膜法によるa-SiNx:H膜の堆積と膜質の比較
p7
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
その他
東京農工大学学術機関リポジトリ
デジタル連携先のサイトで、学術機関リポジトリデータベース（IRDB）（機関リポジトリ）が連携している機関・データベースの所蔵状況を確認できます。東京農工大学学術機関リポジトリのサイトで この本を確認
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- アフターグローホウ デ ケイセイシタ a-SiNx : Hマク ノ ナイブ オウリョク ハッセイ ト セイギョ
- 著者・編者
- 永吉浩 [著]
- 著者標目
- 永吉, 浩, 1961- ナガヨシ, ヒロシ, 1961- ( 00877518 )典拠
- 授与機関名
- 東京農工大学
- 授与年月日
- 平成5年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 甲第50号
- 学位
- 博士 (工学)