博士論文
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プラズマ励起プロセスによる新成膜法の研究

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プラズマ励起プロセスによる新成膜法の研究

国立国会図書館請求記号
UT51-94-Z579
国立国会図書館書誌ID
000000279335
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3098587
資料種別
博士論文
著者
申英寿 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
広島大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 梗概

    p1

  • 第1章 本研究の目的と背景

    p5

  • 文献

    p7

  • 第2章 シリコン系薄膜の形成技術と表面反応診断装置

    p8

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
プラズマ レイキ プロセス ニ ヨル シンセイマクホウ ノ ケンキュウ
著者・編者
申英寿 [著]
著者標目
申, 英寿 シン, ヒデトシ
授与機関名
広島大学
授与年月日
平成6年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1994
報告番号
甲第1267号
学位
博士 (工学)