Crystal growth of oxide thin films using mass-separated low-energy O[+] ion beams
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 喜多隆介 [著]
- 著者標目
- 喜多, 隆介 キタ, リュウスケ
- 並列タイトル等
- 質量分離した低エネルギーO[+]イオンビームを用いた酸化物薄膜の結晶成長 シツリョウ ブンリシタ テイエネルギー O+ イオン ビーム オ モチイタ サンカブツ ハクマク ノ ケッショウ セイチョウ
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 平成5年12月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1993
- 報告番号
- 乙第2494号
- 学位
- 博士 (理学)