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低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究

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低圧グロー放電プラズマ中の電子エネルギー分布関数に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-95-A93
国立国会図書館書誌ID
000000279584
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3079959
資料種別
博士論文
著者
木村高志 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 低圧グロー放電プラズマと電気工学

    p1

  • 1-2 本論文に関連した従来の研究

    p2

  • 1-3 研究の意義と本論文の構成

    p7

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
テイアツ グロー ホウデン プラズマチュウ ノ デンシ エネルギー ブンプ カンスウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
木村高志 [著]
著者標目
木村, 高志 キムラ, タカシ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成6年12月1日
授与年月日(W3CDTF)
1994
報告番号
乙第72号
学位
博士 (工学)