チタン陰極窒素ガス真空アークプラズマにおける励起・電離および蒸着プロセスに関する研究
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目次
要旨
第1章 序論
p1
1.1 本研究の目的と概要
p1
1.2 真空アーク放電の原理
p3
1.3 真空アーク蒸着法の歴史
p18
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チタン インキョク チッソ ガス シンクウ アーク プラズマ ニ オケル レイキ デンリ オヨビ ジョウチャク プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 榊守 [著]
- 著者標目
- 榊, 守 サカキ, マモル
- 授与機関名
- 豊橋技術科学大学
- 授与年月日
- 平成8年3月13日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第87号
- 学位
- 博士 (工学)