Microstructure and property of multilayered and granular Fe-Al-N thin films prepared by rf sputtering
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目次
Contents
Chapter1 Introduction
p1
1-1 Introduction
p2
1-2 Purpose of this study
p13
References
p16
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 藤木充司 [著]
- 著者標目
- 藤木, 充司 フジキ, ミツシ
- 並列タイトル等
- 高周波スパッタ法により作製した積層及び分散系Fe-Al-N薄膜の微細構造と物性 コウシュウハ スパッタホウ ニ ヨリ サクセイシタ セキソウ オヨビ ブンサンケイ Fe-Al-N ハクマク ノ ビサイ コウゾウ ト ブッセイ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第5421号
- 学位
- 博士 (理学)