Synthesis from new gas sources and characterization of diamond films
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 陳家富 [著]
- 著者標目
- 陳, 家富 チン, カフ
- 並列タイトル等
- 新しい反応ガスによるダイヤモンド薄膜合成及びその特性評価 アタラシイ ハンノウ ガス ニ ヨル ダイヤモンド ハクマク ゴウセイ オヨビ ソノ トクセイ ヒョウカ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成8年3月5日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第6878号
- 学位
- 博士 (工学)