シリコン結晶への金拡散およびこれにともなう点欠陥の挙動に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 緒言
p1
1.2 従来のシリコン結晶中の金拡散の研究
p3
1.3 本研究の目的と概要
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン ケッショウ エ ノ キン カクサン オヨビ コレニ トモナウ テン ケッカン ノ キョドウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 高橋学 [著]
- 著者標目
- 高橋, 学 タカハシ, マナブ
- 授与機関名
- 岡山大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第1457号
- 学位
- 博士 (工学)