Step-controlled epitaxial growth of α-SiC and device applications
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目次
論文目録
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Abstract
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Acknowlegments
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 木本恒暢 [著]
- 著者標目
- 木本, 恒暢 キモト, ツネノブ
- 並列タイトル等
- α-SiCのステップ防御エピタキシャル成長とデバイス応用 アルファ - SiC ノ ステップ ボウギョ エピタキシャル セイチョウ ト デバイス オウヨウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成8年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第9183号
- 学位
- 博士 (工学)