非晶質シリコンの構造緩和および結晶化に関する研究
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 非晶質シリコンの構造と物性
p5
1.3 非晶質シリコンの構造緩和と結晶化過程
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ヒショウシツ シリコン ノ コウゾウ カンワ オヨビ ケッショウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 廣山雄一 [著]
- 著者標目
- 廣山, 雄一 ヒロヤマ, ユウイチ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成8年3月27日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第3757号
- 学位
- 博士 (工学)