アーク放電プラズマによるダイヤモンドの生成における塩素の効果に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
1.1 プラズマの一般的性質とCVD法への適用
p1
1.2 種々のダイヤモンド合成法とプラズマCVDによるダイヤモンドの合成
p5
1.3 ダイヤモンド膜のキャラクタリゼーション
p13
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- アーク ホウデン プラズマ ニ ヨル ダイヤモンド ノ セイセイ ニ オケル エンソ ノ コウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 古滝敏郎 [著]
- 著者標目
- 古滝, 敏郎 コタキ, トシロウ
- 授与機関名
- 青山学院大学
- 授与年月日
- 平成8年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第52号
- 学位
- 博士 (理学)