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高集積回路における高信頼性配線用アルミニウム合金材料の開発

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高集積回路における高信頼性配線用アルミニウム合金材料の開発

国立国会図書館請求記号
UT51-96-J525
国立国会図書館書誌ID
000000297346
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3112155
資料種別
博士論文
著者
河渕靖 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
北海道大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 緒言

    p1

  • 1.2 集積回路におけるアルミニウム配線技術

    p3

  • 1.3 本論文の目的および構成

    p19

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウシュウセキ カイロ ニ オケル コウシンライセイ ハイセンヨウ アルミニウム ゴウキン ザイリョウ ノ カイハツ
著者・編者
河渕靖 [著]
著者標目
河渕, 靖 コウブチ, ヤスシ
授与機関名
北海道大学
授与年月日
平成8年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1996
報告番号
乙第4965号
学位
博士 (工学)