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有機金属気相成長法による化合物半導体の生産技術に関する研究

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有機金属気相成長法による化合物半導体の生産技術に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-96-K162
国立国会図書館書誌ID
000000297546
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3112354
資料種別
博士論文
著者
松本功 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 はじめに

    p1

  • 1-1.はじめに

    p1

  • 1-2.研究の背景;MOVPEの開発史

    p1

  • 1-3.本研究の論文構成

    p4

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ セイサン ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
松本功 [著]
著者標目
松本, 功 マツモト, コウ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成8年3月15日
授与年月日(W3CDTF)
1996
報告番号
乙第97号
学位
博士 (工学)