窒化アルミニウムのLSIへの応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
序章
p3
第1章 AlNセラミックスの材料特性
p5
1.1 高熱伝導セラミックスの条件
p5
1.2 AlNセラミックスの高熱伝導機構
p6
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- チッカ アルミニウム ノ LSI エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 岩瀬暢男 [著]
- 著者標目
- 岩瀬, 暢男 イワセ, ノブオ
- 授与機関名
- 法政大学
- 授与年月日
- 平成8年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第92号
- 学位
- 博士 (工学)