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Studies on control of reactive plasmas and its application to synthesis of diamond films in vapor phase

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Studies on control of reactive plasmas and its application to synthesis of diamond films in vapor phase

国立国会図書館請求記号
UT51-96-L348
国立国会図書館書誌ID
000000298264
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3113073
資料種別
博士論文
著者
八田章光 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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目次

  • Abstract

    p1

  • Contents

    p3

  • 1 Introduction

    p1

  • 2 Guiding Principles for Control of the Reactive Plsama

    p6

  • 2.1 Reaction Process in the Plasma

    p7

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
八田章光 [著]
著者標目
八田, 章光 ハッタ, アキミツ
並列タイトル等
反応性プラズマの制御とそのダイヤモンド薄膜気相合成への応用に関する研究 ハンノウセイ プラズマ ノ セイギョ ト ソノ ダイヤモンド ハクマク キソウ ゴウセイ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
大阪大学
授与年月日
平成8年3月28日
授与年月日(W3CDTF)
1996
報告番号
乙第6935号
学位
博士 (工学)