Formation of high-quality thin films using dual-RF-excitation plasma
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
TABLE OF CONTENTS
p3
ABSTRACTS
p1
TABLE OF CONTENTS
p3
TABLE OF FIGURES
p5
TABLE OF PHOTOGRAPHS
p8
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 禹善雄 [著]
- 著者標目
- 禹, 善雄 Woo, Sun-Woong
- 並列タイトル等
- 二周波励起プラズマを用いた高品質薄膜形成の研究 ニシュウハ レイキ プラズマ オ モチイタ コウヒンシツ ハクマク ケイセイ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成8年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第5622号
- 学位
- 博士 (工学)