Electrical properties and reliability of thin thermally grown SiO[2] films
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p5
Chapter1 Introduction
p1
■BACKGROUND
p1
■OUTLINE
p3
PART I INTRINSIC PROPERTIES
p10
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 木村幹広 [著]
- 著者標目
- 木村, 幹広 キムラ, ミキヒロ
- 並列タイトル等
- 薄いシリコン酸化膜の電気的性質と信頼性 ウスイ シリコン サンカマク ノ デンキテキ セイシツ ト シンライセイ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成8年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第5638号
- 学位
- 博士 (工学)