Production of helicon wave-excited plasma and application to sputter deposition
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目次
Contents
Chapter1. General Introduction
p1
1.1 Background
p1
1.2 Objective of the research
p6
1.3 Content of the research
p7
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 張津秋 [著]
- 著者標目
- 張, 津秋 チョウ, シンシュウ
- 並列タイトル等
- ヘリコン波励起プラズマの生成とスパッタリングへの応用 ヘリコンハ レイキ プラズマ ノ セイセイ ト スパッタリング エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成9年6月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 甲第6077号
- 学位
- 博士 (工学)