低温CVD炭素質薄膜の作製と物性ならびにその電子デバイスへの応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第一章 緒論
p1
1.1 本研究の背景
p1
1.2 本研究の目的
p8
1.3 本研究の経緯
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- テイオン CVD タンソシツ ハクマク ノ サクセイ ト ブッセイ ナラビニ ソノ デンシ デバイス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 于洪桉 [著]
- 著者標目
- 于, 洪桉 ウ, コアン
- 授与機関名
- 群馬大学
- 授与年月日
- 平成9年11月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 工博乙第24号
- 学位
- 博士 (工学)