誘導コイル結合型高周波放電を利用した金属イオンの発生とその応用
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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p1
第1章 序論
p1
1･1 本研究の背景
p1
1･2 本研究の目的と方法
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ユウドウ コイル ケツゴウガタ コウシュウハ ホウデン オ リヨウシタ キンゾク イオン ノ ハッセイ ト ソノ オウヨウ
- 著者・編者
- 山下睦雄 [著]
- 著者標目
- 山下, 睦雄 ヤマシタ, ムツオ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成9年11月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第9715号
- 学位
- 博士 (工学)