Functional thin film deposition by atmospheric pressure cold plasma
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
Contents
p1
Chapter1.General Introduction
p1
1-1 Plasma
p1
1-2 The Nature of Plasma
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 河賢権 [著]
- 著者標目
- 河, 賢権 ハー, ヒョンクン
- 並列タイトル等
- 大気圧低温プラズマによる機能性薄膜の堆積に関する研究 タイキアツ テイオン プラズマ ニ ヨル キノウセイ ハクマク ノ タイセキ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成8年9月30日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 甲第3361号
- 学位
- 博士 (工学)