オージェ電子分光分析装置内に構築した計測システムによる金とシリコン間の固体間凝着現象の検討
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
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第1章 緒論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 固体間凝着現象に関する研究の現状と問題点
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- オージェ デンシ ブンコウ ブンセキ ソウチナイ ニ コウチク シタ ケイソク システム ニ ヨル キン ト シリコンカン ノ コタイカン ギョウチャク ゲンショウ ノ ケントウ
- 著者・編者
- 水野亮二 [著]
- 著者標目
- 水野, 亮二 ミズノ, リョウジ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成9年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 甲第3435号
- 学位
- 博士 (工学)