シリコン中の重金属によるMOS型素子の特性劣化とその改善
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目次
論文目録
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p1
第一章 序論
p1
1.1.緒言
p1
1.2.高集積化･微細化に伴って酸化膜に要請される技術課題
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコンチュウ ノ ジュウキンゾク ニ ヨル MOSガタ ソシ ノ トクセイ レッカ ト ソノ カイゼン
- 著者・編者
- 本田耕一郎 [著]
- 著者標目
- 本田, 耕一郎 ホンダ, コウイチロウ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成8年5月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1996
- 報告番号
- 乙第2909号
- 学位
- 博士 (工学)