Preparation and surface nitridation of high quality GaAs substrates for selective area growth
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目次
論文目録
Table of Contents
Abstract
p1
Chapter 1 Introduction
p1
1.1 Background
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 朴鏞柱 [著]
- 著者標目
- 朴, 鏞柱 パク, ヨンジュ
- 並列タイトル等
- 選択成長のための高品質GaAs基板の作製と表面窒化の研究 センタク セイチョウ ノ タメ ノ コウヒンシツ GaAs キバン ノ サクセイ ト ヒョウメン チッカ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 平成9年2月28日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1997
- 報告番号
- 乙第3014号
- 学位
- 博士 (工学)