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目次
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p1
第1章序論
p1
1.1 研究の背景
p1
1.2 研究の目的と課題
p9
1.3 論文の構成
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- デンシ ビーム テスタ ニ ヨル LSI コショウ シンダン ノ コウコウリツカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 久慈憲夫 [著]
- 著者標目
- 久慈, 憲夫 クジ, ノリオ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成9年11月12日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1997
- 報告番号
- 乙第7332号
- 学位
- 博士 (工学)