Precise silicon micromachining for microsensors and microactuators
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p2
List of Figures
p4
List of Tables
p6
1 Introduction
p1
1.1 Overview of the dissertation
p2
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 戸田理作 [著]
- 著者標目
- 戸田, 理作 トダ, リサク
- 並列タイトル等
- マイクロセンサ及びマイクロアクチュエータのための高精度シリコンマイクロマシニング マイクロセンサ オヨビ マイクロアクチュエータ ノ タメ ノ コウセイド シリコン マイクロマシニング
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成10年9月9日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1998
- 報告番号
- 乙第7585号
- 学位
- 博士(工学)