微結晶シリコンの構造及び欠陥の研究
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目次
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p1
第一章 序論
p2
1-1 本研究の背景
p2
1-2 微結晶シリコンの定義
p3
1-3 微結晶シリコンの分類
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ビケッショウ シリコン ノ コウゾウ オヨビ ケッカン ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 惠原貴志 [著]
- 著者標目
- 惠原, 貴志 エハラ, タカシ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成11年1月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 乙第7631号
- 学位
- 博士(理学)