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Characterization of SIMOX (Separation-by-implanted-oxygen) materials and devices

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Characterization of SIMOX (Separation-by-implanted-oxygen) materials and devices

国立国会図書館請求記号
UT51-99-J208
国立国会図書館書誌ID
000000335829
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3150637
資料種別
博士論文
著者
吉野明 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
慶応義塾大学,博士(工学)
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目次

  • 論文目録

  • Abstract

    p1

  • CONTENTS

    p6

  • 1.Introduction to The SIMOX Technology

    p1

  • 1.1 Silicon-on-insulator(SOI)technology

    p2

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
吉野明 [著]
著者標目
吉野, 明 ヨシノ, アキラ
並列タイトル等
SIMOX基板とSIMOXデバイスの特性評価 SIMOX キバン ト SIMOX デバイス ノ トクセイ ヒョウカ
授与機関名
慶応義塾大学
授与年月日
平成11年3月4日
授与年月日(W3CDTF)
1999
報告番号
乙第3259号
学位
博士(工学)