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超音速フリージェットによるシリコンカーバイド薄膜の形成に関する基礎的研究

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超音速フリージェットによるシリコンカーバイド薄膜の形成に関する基礎的研究

国立国会図書館請求記号
UT51-99-J381
国立国会図書館書誌ID
000000336002
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3150810
資料種別
博士論文
著者
生駒嘉史 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
九州大学,博士(工学)
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目次

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 研究の背景

    p1

  • 1.2 SiCの物理・化学的性質と結晶成長

    p5

  • 1.3 3C-SiC/Siヘテロ構造の性質と形成時の問題点

    p13

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
チョウオンソク フリー ジェット ニ ヨル シリコン カーバイド ハクマク ノ ケイセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
著者・編者
生駒嘉史 [著]
著者標目
生駒, 嘉史 イコマ, ヨシフミ
授与機関名
九州大学
授与年月日
平成11年3月25日
授与年月日(W3CDTF)
1999
報告番号
甲第4712号
学位
博士(工学)