ラダー型アンテナ電極を用いた高周波プラズマの生成とその応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
記号の説明
p4
第1章 緒言
p1
第2章 走査型プラズマの生成と大面積a-Si製膜への応用
p11
2.1 序
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ラダーガタ アンテナ デンキョク オ モチイタ コウシュウハ プラズマ ノ セイセイ ト ソノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 村田正義 [著]
- 著者標目
- 村田, 正義 ムラタ, マサヨシ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 平成11年2月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 乙第6822号
- 学位
- 博士(理学)