高密度反応性プラズマにおける負イオンの生成と診断
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目次
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p1
第1章 序論
p1
1.1 反応性プラズマにおける負イオン研究の現状
p1
1.2 酸素プラズマ中の負イオン
p4
1.3 ハロゲン系プラズマ中の負イオン
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウミツド ハンノウセイ プラズマ ニ オケル フイオン ノ セイセイ ト シンダン
- 著者・編者
- 林大雄 [著]
- 著者標目
- 林, 大雄 ハヤシ, ダイユウ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第4284号
- 学位
- 博士(工学)