Studies on low temperature polycrystalline silicon film formation using electron cyclotron resonance silane/hydrogen plasma
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Contents
p1
Chapter1 Introduction
p1
1.1 Applications of microcrystalline silicon and polycrystalline silicon films to electronic devices
p1
1.2 Previous studies on formation techniques and formation mechanisms of microcrystalline silicon and polycrystalline silicon films
p6
1.3 Purpose and composition of this thesis
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 野澤陵一 [著]
- 著者標目
- 野澤, 陵一 ノザワ, リョウイチ
- 並列タイトル等
- ECRシラン/水素プラズマを用いた多結晶シリコン低温形成に関する研究 ECR シラン
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 平成11年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第4287号
- 学位
- 博士(工学)