反応性スパッタによるⅣa族窒化物薄膜の作製および物性評価
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p1
第一章 序論
p3
1.1 IVa族窒化物薄膜
p3
1 .2 IVa族窒化物薄膜の作製
p10
1.3 薄膜の性質
p16
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ハンノウセイ スパッタ ニ ヨル 4 aゾク チッカブツ ハクマク ノ サクセイ オヨビ ブッセイ ヒョウカ
- 著者・編者
- 安藤豊 [著]
- 著者標目
- 安藤, 豊 アンドウ, ユタカ
- 授与機関名
- 名古屋工業大学
- 授与年月日
- 平成11年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 甲第264号
- 学位
- 博士(工学)