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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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第1章 序論
p1
第2章 研究の背景と目的
p3
2-1 GaAs基板上への高品質・厚膜GaN層の必要性
p4
2-2 立方晶GaN膜の高品質化と六方晶GaNの混入見積り
p11
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- GaAs キバンジョウ エノ リッポウショウ GaN ノ ハライド キソウ セイチョウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 土屋晴稔 [著]
- 著者標目
- 土屋, 晴稔 ツチヤ, ハルトシ
- 授与機関名
- 筑波大学
- 授与年月日
- 平成10年7月24日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1998
- 報告番号
- 乙第1438号
- 学位
- 博士 (工学)