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シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

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シールド型アークイオンプレーティング法による炭素系硬質薄膜の作製とその構造および機械的性質評価

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-D313
国立国会図書館書誌ID
000000350625
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3165435
資料種別
博士論文
著者
田島信宏 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
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目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1-1 硬質材料

    p1

  • 1-2 窒化炭素

    p2

  • 1-3 シールド型アークイオンプレーティング

    p5

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
シールドガタ アーク イオン プレーティングホウ ニ ヨル タンソケイ コウシツ ハクマク ノ サクセイ ト ソノ コウゾウ オヨビ キカイテキ セイシツ ヒョウカ
著者・編者
田島信宏 [著]
著者標目
田島, 信宏 タジマ, ノブヒロ
授与機関名
名古屋大学
授与年月日
平成12年3月27日
授与年月日(W3CDTF)
2000
報告番号
甲第4691号
学位
博士 (工学)