博士論文
書影書影

高密度マイクロ波プラズマによる薄膜プロセスの研究

博士論文を表すアイコン
表紙は所蔵館によって異なることがあります ヘルプページへのリンク

高密度マイクロ波プラズマによる薄膜プロセスの研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-D317
国立国会図書館書誌ID
000000350629
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3165439
資料種別
博士論文
著者
小倉輝 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋大学,博士 (工学)
すべて見る

書店で探す

障害者向け資料で読む

目次

  • 目次

    p1

  • 第1章 序論

    p1

  • 1.1 本研究の背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p13

  • 1.3 本論文の構成

    p14

障害者向け資料で読む

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
コウミツド マイクロハ プラズマ ニ ヨル ハクマク プロセス ノ ケンキュウ
著者・編者
小倉輝 [著]
著者標目
小倉, 輝 コクラ, ヒカル
授与機関名
名古屋大学
授与年月日
平成12年3月27日
授与年月日(W3CDTF)
2000
報告番号
甲第4695号
学位
博士 (工学)