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超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究

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超高集積回路の配線用銅薄膜の化学気相成長とその膜特性に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-D672
国立国会図書館書誌ID
000000350984
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3165791
資料種別
博士論文
著者
小林明子 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
上智大学,博士 (工学)
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目次

  • 論文要旨

  • 目次

  • 1 序論

    p1

  • 1.1 背景

    p1

  • 1.2 本研究の目的

    p12

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
チョウコウシュウセキ カイロ ノ ハイセンヨウ ドウ ハクマク ノ カガク キソウ セイチョウ ト ソノ マク トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
小林明子 [著]
著者標目
小林, 明子 コバヤシ, アキコ
授与機関名
上智大学
授与年月日
平成12年3月14日
授与年月日(W3CDTF)
2000
報告番号
乙第168号
学位
博士 (工学)