フォトレジスト用現像液高純度試薬-水酸化テトラメチルアンモニウム-の開発研究
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目次
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第一章 序論
p1
第二章 水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)の一般的性質､利用例､及び従来法によるTMAH合成とその問題点
p4
第一節 半導体用現像液としてのTMAH
p4
(1)TMAHの一般的性質
p4
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- フォトレジストヨウ ゲンゾウエキ コウジュンド シヤク - スイサンカ テトラメチルアンモニウム - ノ カイハツ ケンキュウ
- 著者・編者
- 八木修 [著]
- 著者標目
- 八木, 修 ヤギ, オサム
- 授与機関名
- 早稲田大学
- 授与年月日
- 平成11年6月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1999
- 報告番号
- 乙第1477号
- 学位
- 博士 (工学)