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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
Abstract
p1
Contents
p1
Chp.1 Introduction
p1
1.1 Basic Concept
p1
1.2 History and Current Situation
p3
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 張偉 [著]
- 著者標目
- 張, 偉 チョウ, イ
- 並列タイトル等
- PVDの薄膜の微細構造モデリング光学動特性 PVD ノ ハクマク ノ ビサイ コウゾウ モデリング コウガク ドウトクセイ
- 授与機関名
- 東北工業大学
- 授与年月日
- 平成12年3月23日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 2000
- 報告番号
- 乙第2号
- 学位
- 博士 (工学)