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レーザーアブレーションによる鉄シリサイド薄膜の作製及びその諸特性に関する基礎研究

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レーザーアブレーションによる鉄シリサイド薄膜の作製及びその諸特性に関する基礎研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2000-G928
国立国会図書館書誌ID
000000354167
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/3168975
資料種別
博士論文
著者
劉正新 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
豊橋技術科学大学,博士 (工学)
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目次

  • 論文要旨

    p1

  • 目次

  • 第1章 序論

    p1

  • §1.1 レーザーアブレーションによる薄膜の作製とその特徴

    p1

  • §1.2 鉄シリサイド薄膜-環境半導体

    p4

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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
タイトルよみ
レーザー アブレーション ニ ヨル テツ シリサイド ハクマク ノ サクセイ オヨビ ソノ ショトクセイ ニ カンスル キソ ケンキュウ
著者・編者
劉正新 [著]
著者標目
劉, 正新 リュウ, セイシン
授与機関名
豊橋技術科学大学
授与年月日
平成12年3月22日
授与年月日(W3CDTF)
2000
報告番号
甲第263号
学位
博士 (工学)