Plasma Characterization in Sputtering Processes and the Deposition of WC-Co Coatings

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資料種別: 博士論文
タイトル: Plasma Characterization in Sputtering Processes and the Deposition of WC-Co Coatings
著者・編者: Eser, Erten Sadullah.
著者標目: Eser, Erten Sadullah.
出版事項: Cambridge : Massachusetts Institute of Technology
出版年月日等: 1978.
数量: 138p.
授与機関名: Massachusetts Institute of Technology
授与年月日: 1978.
授与年月日（W3CDTF）: 1978
学位論文注記: 博士論文
Thesis (doctoral) --Massachusetts Institute of Technology, 1978.
出版地（国名コード）: US
本文の言語コード: eng
資料種別（注記）: [microform]
一般注記: Microfiche.
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: LS-DI-MIT-78-073
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 000003407871
http://id.ndl.go.jp/bib/000003407871
整理区分コード: 216