博士論文

MOCVDによるGaAs系化合物半導体の結晶成長におけるドーピング特性と機構に関する研究

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MOCVDによるGaAs系化合物半導体の結晶成長におけるドーピング特性と機構に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-D56
国立国会図書館書誌ID
000004105241
資料種別
博士論文
著者
舘野功太 [著]
出版者
[舘野功太]
出版年
2001
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (理学)
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博士論文

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資料種別
博士論文
タイトルよみ
MOCVD ニ ヨル GaAsケイ カゴウブツ ハンドウタイ ノ ケッショウ セイチョウ ニ オケル ドーピング トクセイ ト キコウ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
舘野功太 [著]
著者標目
舘野, 功太 タテノ, コウタ
出版事項
出版年月日等
2001
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
東京大学