博士論文

DVD原盤露光装置用ステージ位置制御に関する研究 : 粗微動による超精密軌跡制御と次世代姿勢センシング要素技術

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DVD原盤露光装置用ステージ位置制御に関する研究 : 粗微動による超精密軌跡制御と次世代姿勢センシング要素技術

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-D134
国立国会図書館書誌ID
000004105838
資料種別
博士論文
著者
佐久田茂 [著]
出版者
[佐久田茂]
出版年
[2001]
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
DVD ゲンバン ロコウ ソウチヨウ ステージ イチ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ : ソビドウ ニ ヨル チョウセイミツ キセキ セイギョ ト ジセダイ シセイ センシング ヨウソ ギジュツ
著者・編者
佐久田茂 [著]
著者標目
佐久田, 茂 サクタ, シゲル
出版事項
出版年月日等
[2001]
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
授与機関名
東京大学