博士論文

Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

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Study of particle transport in high pressure sputter deposition process

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-D193
国立国会図書館書誌ID
000004106142
資料種別
博士論文
著者
中野武雄 [著]
出版者
[中野武雄]
出版年
2001
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
東京大学,博士 (工学)
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
中野武雄 [著]
著者標目
中野, 武雄 ナカノ, タケオ
出版事項
出版年月日等
2001
出版年(W3CDTF)
2001
数量
1冊
並列タイトル等
高圧スパッタ製膜プロセスにおける粒子輸送過程の研究 コウアツ スパッタ セイマク プロセス ニ オケル リュウシ ユソウ カテイ ノ ケンキュウ
授与機関名
東京大学