博士論文

プリアモルファスシリコン層へのイオン注入による浅い接合形成に関する研究

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プリアモルファスシリコン層へのイオン注入による浅い接合形成に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-D364
国立国会図書館書誌ID
000004109021
資料種別
博士論文
著者
大野直次 [著]
出版者
[大野直次]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
法政大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
プリ アモルファス シリコンソウ エノ イオン チュウニュウ ニ ヨル アサイ セツゴウ ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
大野直次 [著]
著者標目
大野, 直次 オオノ, ナオツグ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
法政大学