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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- ホウシャコウ Xセン カイセツホウ ニ ヨル キョクハクマク SOI Silicon on Insulator ウエーハ ノ コウゾウ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 福田一徳 [著]
- 著者標目
- 福田, 一徳 フクダ, カズノリ
- 出版事項
- 出版年月日等
- 2002
- 出版年（W3CDTF）
- 2002
- 数量
- 1冊
- 授与機関名
- 大阪大学
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