博士論文

シリコン/シリコン酸化膜界面の走査トンネル顕微鏡による評価

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シリコン/シリコン酸化膜界面の走査トンネル顕微鏡による評価

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-E634
国立国会図書館書誌ID
000004137260
資料種別
博士論文
著者
後藤雅秀 [著]
出版者
[後藤雅秀]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
シリコン シリコン サンカマク カイメン ノ ソウサ トンネル ケンビキョウ ニ ヨル ヒョウカ
著者・編者
後藤雅秀 [著]
著者標目
後藤, 雅秀 ゴトウ, マサヒデ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
大阪大学