博士論文

光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

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光リソグラフィにおける加工寸法の高精度化に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-2003-E800
国立国会図書館書誌ID
000004139520
資料種別
博士論文
著者
吉野宏 [著]
出版者
[吉野宏]
出版年
2002
資料形態
ページ数・大きさ等
1冊
授与大学名・学位
大阪大学,博士 (工学)
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ヒカリ リソグラフィ ニ オケル カコウ スンポウ ノ コウセイドカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
吉野宏 [著]
著者標目
吉野, 宏 ヨシノ, ヒロシ
出版事項
出版年月日等
2002
出版年(W3CDTF)
2002
数量
1冊
授与機関名
大阪大学